特許
J-GLOBAL ID：200903009515558643
レーザプラズマX線源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229605
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064598
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 短波長の硬X線を発生するレーザプラズマX線源において、ターゲットの寿命を向上させることを目的とし、又、X,Y駆動装置を要しないレーザプラズマX線源を提供する。【解決手段】 レーザプラズマX線源1は、レーザ光をターゲットに集光照射してX線を発生するレーザプラズマX線源において、一方向のターゲット21の移動によって多数回のレーザ照射回数を可能とするために、ターゲット21は少なくとも長さ方向に移動自在な長尺ターゲットとし、ターゲットのレーザ照射点に局所的に高電界を形成する電極を含む電界形成手段4を備える。ターゲットを一方向にのみ移動させることによって多数回のレーザ照射回数を得ることができるターゲット形状とすることによって、ターゲットの寿命を向上させ、又、X,Y駆動装置を不要とする。
請求項（抜粋）：
レーザ光をターゲットに集光照射してX線を発生するレーザプラズマX線源において、前記ターゲットは少なくとも長さ方向に移動自在な長尺ターゲットであり、前記ターゲットのレーザ照射点に局所的に高電界を形成する電極を含む電界形成手段を備え、前記高電界によって短波長のX線を発生することを特徴とするレーザプラズマX線源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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