特許

J-GLOBAL ID：200903009519756113

蛍光X線分析装置

発明者： 鎌田 繁生
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (3件)： 杉本 修司 ,  野田 雅士 ,  堤 健郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-220017
公開番号（公開出願番号）：特開2009-053037
出願日： 2007年08月27日
公開日（公表日）： 2009年03月12日
要約：

【課題】手動でフィルタの交換を簡単かつ容易に交換することができる安価な蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】蛍光X線分析装置100は、X線管1と、リッド2を有する試料室3と、試料室リークバルブ41と、蛍光X線12を検出する検出手段4を有する分光室5と、分光室リークバルブ51と、試料室3と分光室5との間の開口10を開閉する真空シャッタ6と、1次X線11をろ波するフィルタ7が交換可能に取り付けられるフィルタ進退手段と、試料交換機20と、X線管1、リッド2、真空ポンプ9、試料室リークバルブ41、分光室リークバルブ51、真空シャッタ6、フィルタ進退手段8および、試料交換機20を制御する制御手段30とを有し、制御手段30が第1指示に応じて、フィルタ交換準備手順を実行し、第2指示に応じて、前記手順実行前の状態に戻す初期化手順を実行する。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

試料に1次X線を照射するX線管と、 開閉自在のリッドを有し、前記リッドの閉状態時に真空ポンプによって真空排気される試料室と、 開かれることにより前記試料室を大気に連通させる試料室リークバルブと、 前記X線管からの1次X線が照射されて試料から発生する蛍光X線の強度を検出する検出手段が収納され、前記真空ポンプによって真空排気される分光室と、 開かれることにより前記分光室を大気に連通させる分光室リークバルブと、 前記試料室と前記分光室との間の隔壁に設けられた開口を開閉する真空シャッタと、 前記X線管からの1次X線をろ波するフィルタが交換可能に取り付けられ、そのフィルタを前記X線管と試料との間の1次X線の通路に進退させるフィルタ進退手段と、 試料が載置されるターレット、および試料を前記ターレットから前記試料室に搬送する搬送アームを有する試料交換機と、 前記X線管、リッド、真空ポンプ、試料室リークバルブ、分光室リークバルブ、真空シャッタ、フィルタ進退手段および試料交換機を制御する制御手段と、 を有する蛍光X線分析装置であって、 前記制御手段が、操作者の第1指示に応じて、前記X線管に1次X線の照射を停止させる手順と、前記開口から前記搬送アームを退避させる手順と、前記真空ポンプの停止および前記試料室リークバルブの開放によって前記試料室内を大気圧にする手順と、前記真空ポンプの停止および前記分光室リークバルブの開放によって前記分光室内を大気圧にする手順と、前記試料室内を大気圧にする手順よりも後に前記リッドを開かせる手順と、前記搬送アームを退避させる手順よりも後に前記フィルタ進退手段に前記フィルタを前記開口の直下まで移動させる手順と、前記真空シャッタを開かせる手順とを含むフィルタ交換準備手順を実行し、操作者の第2指示に応じて、当該蛍光X線分析装置を前記フィルタ交換準備手順実行前の状態に戻す初期化手順を実行する蛍光X線分析装置。

IPC (1件)：

G01N 23/223

FI (1件)：

G01N23/223

Fターム (9件)：

2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001EA09 ,  2G001JA02 ,  2G001JA08 ,  2G001JA14 ,  2G001PA13 ,  2G001QA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 蛍光X線分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-175206   出願人：理学電機工業株式会社