電子線照射装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中沢謹之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-129462
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302567
出願日： 1994年05月06日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】電子線が損失することなく照射窓から大電流の電子線の取りだしを可能とする。また大電流の電子線の取りだしを実現する場合でも、窓箔の冷却効果を高める。【構成】走査管1の下部に、幅が200mm以下の鋸歯状に開口する照射窓4を形成しする。この照射窓をチタンまたはチタン合金からなる窓箔5により閉塞する。この照射窓に沿って電子線を鋸歯状に走査する。そのため電子線が通過する道程を長くすることができ、電子線の損失が低減する。照射窓の幅が狭いので、効率よく窓箔を冷却することができる。

請求項（抜粋）：

走査管の下部に、幅が200mm以下の鋸歯状に開口する照射窓を形成し、前記照射窓をチタンまたはチタン合金からなる窓箔により閉塞するとともに、前記照射窓に沿って電子線を鋸歯状に走査する電子線照射装置。

IPC (4件)：

H01J 37/147 , G21K 5/00 , H01J 37/09 , H01J 37/18

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