特許
J-GLOBAL ID：200903009526838826
グリーンシートのたるみ除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-066340
公開番号（公開出願番号）：特開平6-270120
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年09月27日
要約：
【要約】【目的】グリーンシートのたるみ除去装置において、収縮量のばらつきを無くしパターンずれを防ぐ。【構成】グリーンシート3を貼付し歪ゲージ2を備えたカセット1と、グリーンシート3を加熱するホットプレート4と、歪ゲージ2の出力を測定する測定部5と、ホットプレート4のON/OFFを制御する制御部6とで構成する。【効果】歪ゲージの出力を測定しながらホットプレートのON/OFFを制御することによりグリーンシートの収縮量を一定に保つことができ、パターンずれを起こすことがない。
請求項（抜粋）：
枠状のカセットと、このカセットの1または2以上の辺それぞれにそれぞれが設けられた1または2以上の歪ゲージと、前記カセットに周縁が貼り付けられたグリーンシートを裁置して加熱するホットプレートと、前記歪ゲージの検出する応力が予め設定した状態になった時に前記ホットプレートの加熱を停止させる制御部とを含むことを特徴とするグリーンシートのたるみ除去装置。
IPC (2件)：
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