特許

J-GLOBAL ID：200903009529057337

非線形誘電率測定装置

発明者： 長 康雄
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所 ,  長 康雄
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-209593
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075806
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 誘電体の一部分である微小領域における非線形誘電率を測定する非線形誘電率測定装置を提供する。【構成】 誘電体に形成された第1の電極と、上記誘電体の微小領域に接触するように設けられた先端部を有する第2の電極と、上記誘電体の微小領域に所定の周波数を有する交流信号を印加する電圧印加手段と、上記第1の電極と上記第2の電極との間に挟設された誘電体の微小領域のキャパシタを含んで構成された共振回路を備えて、上記誘電体の微小領域に上記交流信号が印加されたときに、上記交流信号の周波数と上記微小領域の非線形誘電率に対応して発振周波数が変化する発振信号を発生する発振手段と、上記発振信号を周波数復調して、上記交流信号の周波数と上記微小領域の非線形誘電率に対応した振幅を有する信号を電気信号として出力する復調手段とを備え、上記電気信号に基づいて上記誘電体の微小領域の非線形誘電率を測定する。

請求項（抜粋）：

互いに対向する第1の面と第2の面とを有する誘電体の一部分である微小領域における非線形誘電率を測定する非線形誘電率測定装置であって、上記誘電体の第1の面に形成された第1の電極と、上記誘電体の第2の面に接触するように設けられた先端部を有する第2の電極と、上記第1の電極と上記第2の電極に接続され、上記誘電体の微小領域に所定の周波数を有する交流信号を印加する電圧印加手段と、上記第1の電極と上記第2の電極との間に挟設された誘電体の微小領域のキャパシタと、インダクタとを含んで構成されたLC共振回路を備えて、上記誘電体の微小領域に上記交流信号が印加されたときに、上記交流信号の周波数と上記微小領域の非線形誘電率に対応して発振周波数が変化する発振信号を発生する発振手段と、上記発振信号を周波数復調して、上記交流信号の周波数と上記微小領域の非線形誘電率に対応した振幅を有する信号を電気信号として出力する復調手段とを備え、上記電気信号に基づいて上記誘電体の微小領域の非線形誘電率を測定することを特徴とする非線形誘電率測定装置。