特許
J-GLOBAL ID:200903009531428059
磁気記録媒体の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小池 晃 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-169783
公開番号(公開出願番号):特開平8-036749
出願日: 1994年07月21日
公開日(公表日): 1996年02月06日
要約:
【要約】【目的】 昇華性材料を用いた場合においても真空蒸着により連続的に膜形成を行うことができ、生産性の向上を図ることが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供する。【構成】 基体2上に真空蒸着により蒸発材料16からなる薄膜を形成する際に、上記蒸発材料16を内側が凹状になった容器12内に充填し、該容器12を回転させながら蒸着を行う。上記蒸発材料16としては、粒子状の昇華性物質が使用可能であり、その粒子の大きさが1mm以上、上記容器の深さの1/3以下であることが好ましい。
請求項(抜粋):
基体上に真空蒸着により蒸発材料からなる薄膜を形成する際に、上記蒸発材料を内側が凹状になった容器内に充填し、該容器を回転させながら蒸着を行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (2件):
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