特許

J-GLOBAL ID：200903009532781364

マイクロリソグラフィーの結晶レンズと投影形露光装置とを具備した対物レンズ

発明者： カール-ハインツ・シュスター
出願人/特許権者： カール・ツアイス・スティフツング
代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-337363
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235146
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 低波長の、特にマイクロリソグラフィーにおいて新たな適用可能性を開く材料組成を使用する代替の対物レンズコンセプトを提示することである。【解決手段】 2種類の結晶、特にCaF2およびBaF2から成るレンズを具備した対物レンズが、特に157nmでマイクロリソグラフィーの屈折投影対物レンズとして適している。石英ガラスを使用した193/248nmとCaF2 を使用した色消し用の投影対物レンズはBaF2 により耐圧密性になる。その他のフッ化物と一部カタジオプトリック対物レンズとにより、波長100-200nmの領域におけるマイクロリソグラフィー投影形露光装置が可能になる。

請求項（抜粋）：

少なくとも2種類の結晶から成るレンズを具備した対物レンズ。

IPC (4件)：

G02B 13/24 ,  G02B 1/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 13/24 ,  G02B 1/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D