特許

J-GLOBAL ID：200903009542381810

雰囲気汚染評価装置

発明者： 似内 正城
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-136352
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327551
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【目的】工程内雰囲気の汚染管理をインラインでかつリアルタイムで評価可能な評価技術を提供すること。【構成】計測部2と解析・出力部3からなる雰囲気汚染評価装置の計測部2を、外部雰囲気を採集するリーク試料導入部9と、リーク試料導入部9から外部雰囲気を導入し電圧を印加することにより内部を真空放電させる放電管7と、真空放電による光を受光し分光計測を行う分光計測装置4と、リーク試料導入部9及び放電管7を排気する真空ポンプ6で構成する。【効果】装置内に外部雰囲気を直接導入し、気体のまま分析可能となるので、装置を測定場所に固定し、その場で測定・分析ができ、工程内雰囲気の汚染管理をインラインでかつリアルタイムで評価可能となる。

請求項（抜粋）：

気体を採集し光学的手段を用いて前記気体の分析を行う計測部と、その分析結果を評価しその評価結果を表示手段またはプリンタに出力可能な解析・出力部からなる雰囲気汚染評価装置であって、前記計測部は、外部雰囲気を採集する試料導入部と、該試料導入部から前記外部雰囲気を導入し電圧を印加することにより内部を真空放電させる放電管と、真空放電による光を受光し分光計測を行う分光計測装置と、前記試料導入部及び前記放電管を排気する真空ポンプから構成されることを特徴とする雰囲気汚染評価装置。

IPC (3件)：

G01N 21/67 ,  G01J 3/02 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

G01N 21/67 C ,  G01J 3/02 ,  H01L 21/02 D