特許
J-GLOBAL ID：200903009551132792
静電センサ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-083719
公開番号（公開出願番号）：特開平8-278336
出願日： 1995年04月10日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 微少な静電容量の検出を行う。【構成】 静電容量検出素子を回路要素とする共振回路を持つ位相推移回路を構成し、この位相推移回路から静電容量検出素子の静電容量の変化を共振回路の位相変移を表わす出力信号として発生させ、この出力信号を位相弁別回路にて基準信号によって位相弁別して静電容量検出素子の静電容量の変化に相当する出力信号を得る。【効果】 静電容量の微少な変化を位相角で明確に弁別することができ、高い検出能を得ることができる。
請求項（抜粋）：
静電容量検出素子と、該静電容量検出素子を含んだ共振回路を有する位相推移回路と、基準となる周波数信号を発生する発振回路とからなり、前記位相推移回路は前記静電容量検出素子の静電容量変化に応じて前記共振回路の位相変移を示す相推移推信号を出力し、該相推移推信号を位相弁別回路で前記発振回路からの基準信号によって位相弁別して前記静電容量検出素子の微少静電容量変化に相当した出力信号を得ることを特徴とする静電センサ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 27/26 C
, G01B 7/00 K
