特許

J-GLOBAL ID：200903009553794288

圧力センサー及びその製造方法

発明者： 柴谷 博志 ,  細谷 勝宣
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社 ,  三菱電線工業株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-012350
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201195
出願日： 1995年01月30日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】小型化が可能であると共に、精度が良く、しかも製造が容易な光ファイバ型の圧力センサー及びその製造方法を提供する。【構成】光ファイバFの先端に設けられ、周壁によって周囲と気密的に隔離された圧力基準室5と、圧力基準室5の周壁の一部を構成し、光ファイバFの先端と圧力基準室5を介して対向し、光反射面8を有するダイヤフラム8とを具備し、光ファイバFから出射する光を受けるダイヤフラム6が圧力によって変形することによって光ファイバに戻す光りの変化を圧力として検出する圧力センサーであって、光ファイバFの先端面に存するべき光透過性のセンサー基板2を有すると共に、圧力基準室5をセンサー基板2を底壁とし、ダイヤフラム6を上壁の一部又は全部として構成する。

請求項（抜粋）：

光ファイバの先端に設けられ、周壁によって周囲と気密的に隔離された圧力基準室と、この圧力基準室の周壁の一部を構成し、光ファイバの先端と該圧力基準室を介して対向し、光反射面を有するダイヤフラムとを具備し、上記光ファイバから出射する光を受ける該ダイヤフラムが圧力によって変形することによって該光ファイバに戻す光りの変化を圧力として検出する圧力センサーであって、光ファイバの先端面に存するべき光透過性のセンサー基板を有すると共に、上記圧力基準室が、該センサー基板を底壁とし、上記ダイヤフラムを上壁の一部又は全部として構成されていると共に、該センサー基板上に設けられた犠牲層の一部又は全部を消失させることによって形成された空洞であり、上記ダイヤフラムが、消失前の該犠牲層上に形成された堆積膜によって構成されてなることを特徴とする圧力センサー。