特許
J-GLOBAL ID:200903009557525869

セラミック基体及びこれを用いたセンサ素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡邉 一平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-193934
公開番号(公開出願番号):特開平11-037861
出願日: 1997年07月18日
公開日(公表日): 1999年02月12日
要約:
【要約】【課題】 包囲空間近傍に流体が充分存在せず、気泡の多い状況下においても包囲空間内の流体が気泡等により再び置換される事態を防止したセラミック基体及びこれを用いたセンサ素子を提供する。【解決手段】 包囲空間6が形成された平板状基体2と、包囲空間6を被包するように配設された多孔体11とからなるセラミック基体である。多孔体11が可撓性を有し、多孔体11を平板状基体2との積層方向に圧着するための圧着手段17を配設する。多孔体11としては、天然繊維、合成繊維及び無機繊維のうちの何れか1種よりなる織布、若しくは不織布を用い、圧着前の多孔体11の厚みt<SB>0</SB>と圧着後の多孔体11の厚みtが、0.1t<SB>0</SB>≦t<t<SB>0</SB>の関係を満たすように構成する。多孔体11には、平板状基体2外への張り出し部12を設ける。
請求項(抜粋):
包囲空間が形成された平板状基体と、当該包囲空間を被包するように配設された多孔体とからなるセラミック基体であって、前記多孔体が可撓性を有し、当該多孔体を前記平板状基体との積層方向に圧着するための圧着手段を配設したことを特徴とするセラミック基体。
IPC (2件):
G01L 1/16 ,  H01L 41/08
FI (2件):
G01L 1/16 ,  H01L 41/08 Z

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