特許
J-GLOBAL ID：200903009557654103
共振子装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-029036
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221587
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 Qが高く、高感度で、かつ、小型の共振子装置を提供する。【構成】 Si基板1上に対となる電極17,18を対向形成する。この対となる電極17,18間に空気又は真空の空洞8を形成し、印加電圧によって容量が可変するQの高いキャパシタ素子11を形成し、このキャパシタ素子11と共振子を並列接続して、Qの高い発振回路の共振子装置を形成する。
請求項（抜粋）：
印加電圧によって容量を可変するキャパシタ素子が共振子に接続されている共振子装置において、前記キャパシタ素子は、基板上に対となる電極を対向形成し、この対となる電極間に空洞を形成したものによって構成されていることを特徴とする共振子装置。
IPC (2件)：
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