特許

J-GLOBAL ID：200903009564751750

膜厚・屈折率の色差観察法

発明者： 足立 栄希 ,  永山 国昭
出願人/特許権者： 新技術事業団
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097794
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308021
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【構成】 白色光源から固体または液体表面に光を照射し、反射光の部分消光から、膜厚および/または屈折率の差を色差として観察することを特徴とする膜厚・屈折率の色差観察法。【効果】 膜厚や屈折率分布を色の違いによって見分けることが可能となり、表面現象を実時間で観察することが可能となる。また、液体表面においても観察が可能となる。

請求項（抜粋）：

白色光源からの光を固体または液体表面に照射し、反射光中の部分消光から、反射光を着色し、膜厚および/または屈折率の差を色差として観察することを特徴とする膜厚・屈折率の色差観察法。

IPC (3件)：

G01N 21/21 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/41

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-100705
  
• 特開平1-178851
  
• 特開昭62-096803