純水製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳原成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-243407
公開番号（公開出願番号）：特開平6-091263
出願日： 1992年09月11日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】【目的】半導体製造排水と工業用水を混合して、イオン交換および膜分離処理により純水を製造する際、膜分離装置のスケール化による処理水量および処理水質低下を防止する。【構成】半導体製造排水11をアニオン交換塔3においてアニオン交換した後、工業用水15と混合し、混合原水をカチオン交換塔6およびアニオン交換塔8でイオン交換するとともに、膜分離装置10において膜分離して純水を製造する方法。

請求項（抜粋）：