特許
J-GLOBAL ID:200903009576321573
マイクロリレー及びその製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
片山 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-232182
公開番号(公開出願番号):特開2004-071481
出願日: 2002年08月08日
公開日(公表日): 2004年03月04日
要約:
【課題】アイソレーション特性を備えると共に密封性にも優れたマイクロリレーを提供する。【解決手段】それぞれが固定接点及び固定電極を有し対向配置された一対の固定基板と、前記固定基板の間に配置される可動板とを備え、前記可動板は枠部と該枠部に対して移動可能に設けた可動部とを含み、前記枠部は前記一対の固定基板間に接合され、さらに前記可動部は、前記固定電極と対向する可動電極及び前記固定接点に対応する位置に可動接点を備え、前記可動電極と前固定電極との間で生じる静電引力に基づいて前記一対の固定基板間を移動する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
それぞれが固定接点及び固定電極を有し対向配置された一対の固定基板と、前記固定基板の間に配置される可動板とを備え、
前記可動板は、枠部と該枠部に対して移動可能に設けた可動部とを含み、
前記枠部は前記一対の固定基板間に接合され、
前記可動部は、前記固定電極と対向する可動電極及び前記固定接点に対応する位置に可動接点を備え、前記可動電極と前固定電極との間で生じる静電引力に基づいて前記一対の固定基板間を移動することを特徴とするマイクロリレー。
IPC (3件):
H01H59/00
, B81B3/00
, B81C1/00
FI (3件):
H01H59/00
, B81B3/00
, B81C1/00
引用特許:
審査官引用 (17件)
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マイクロリレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-219832
出願人:オムロン株式会社
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マイクロリレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-319100
出願人:オムロン株式会社
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プレーナー型電磁リレー及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-320525
出願人:日本信号株式会社, 江刺正喜
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静電マイクロリレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-335725
出願人:オムロン株式会社
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静電リレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-038104
出願人:松下電工株式会社
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半導体装置の配線取り出し構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-354485
出願人:株式会社東海理化電機製作所
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弾性表面波フィルタ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-125175
出願人:日本碍子株式会社
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ミクロ機械加工されたリレー及び当該リレーの形成方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願平6-518131
出願人:ブルックトゥリーコーポレイション
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スイッチ及びスイッチングシステム
公報種別:公表公報
出願番号:特願平9-518664
出願人:スミスズインダストリーズパブリックリミテッドカンパニー
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静電リレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-151923
出願人:松下電工株式会社
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静電継電器および静電継電器の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-343569
出願人:オムロン株式会社
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マイクロメカニズムの構成部材
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-324089
出願人:ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング, マックス-プランク-ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・デア・ヴィッセンシャフテン・エー・ファオ
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圧力スイッチ素子および圧力スイッチ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-165554
出願人:東京瓦斯株式会社
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マイクロリレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-214457
出願人:オムロン株式会社
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静電マイクロリレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-021881
出願人:オムロン株式会社
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静電リレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-119754
出願人:オムロン株式会社
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半導体マイクロリレー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-307753
出願人:オムロン株式会社
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