特許
J-GLOBAL ID:200903009576321573

マイクロリレー及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 片山 修平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-232182
公開番号(公開出願番号):特開2004-071481
出願日: 2002年08月08日
公開日(公表日): 2004年03月04日
要約:
【課題】アイソレーション特性を備えると共に密封性にも優れたマイクロリレーを提供する。【解決手段】それぞれが固定接点及び固定電極を有し対向配置された一対の固定基板と、前記固定基板の間に配置される可動板とを備え、前記可動板は枠部と該枠部に対して移動可能に設けた可動部とを含み、前記枠部は前記一対の固定基板間に接合され、さらに前記可動部は、前記固定電極と対向する可動電極及び前記固定接点に対応する位置に可動接点を備え、前記可動電極と前固定電極との間で生じる静電引力に基づいて前記一対の固定基板間を移動する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
それぞれが固定接点及び固定電極を有し対向配置された一対の固定基板と、前記固定基板の間に配置される可動板とを備え、 前記可動板は、枠部と該枠部に対して移動可能に設けた可動部とを含み、 前記枠部は前記一対の固定基板間に接合され、 前記可動部は、前記固定電極と対向する可動電極及び前記固定接点に対応する位置に可動接点を備え、前記可動電極と前固定電極との間で生じる静電引力に基づいて前記一対の固定基板間を移動することを特徴とするマイクロリレー。
IPC (3件):
H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00
FI (3件):
H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00
引用特許:
審査官引用 (17件)
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