特許

J-GLOBAL ID：200903009577156185

露光装置

発明者： 加賀屋 寛人
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-273725
公開番号（公開出願番号）：特開平10-083959
出願日： 1993年01月19日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：

【要約】【課題】 光学素子の汚染を防止するための不活性ガスを大量に消費することのない露光装置を提供する。【解決手段】 遠紫外線もしくはエキシマレーザ光を光源1からの露光光として利用してウエハ4を露光する露光装置において、露光光路中に配置されるレンズ2a,2b,2cの少なくとも一方の面側を窒素ガス雰囲気とするための容器2dと、容器2d内の酸素濃度を所定の値に維持するように容器2dに供給される窒素ガスの供給量を制御する窒素ガス供給装置8を有する。

請求項（抜粋）：

遠紫外線もしくはエキシマレーザ光を光源からの露光光として利用して基板を露光する露光装置において、前記光源から前記基板に至る露光光路中に配置される光学素子の少なくとも一方の面側を不活性ガス雰囲気とするための容器と、前記容器内の酸素濃度を所定の値に維持するように前記容器に供給される不活性ガスの供給量を制御するガス供給量制御手段を有することを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-210813