特許
J-GLOBAL ID：200903009578576773
光音響信号検出方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-030109
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242079
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】本発明は光音響信号検出装置に関し、単純構成にして、また試料表面の反射率分布及び凹凸分布の影響を受けにくい、試料の2次元内部情報の高速検出を可能とする方法及びその装置を提供することにある。【構成】ストライプ状の励起ビーム101により、試料の複数の測定点を並列に同時に励起し、各点で生じた光音響信号の検出に光干渉を利用し、干渉光を並列に同時に検出する構成201、202とすることにより、試料の複数測定点の光音響信号を並列に同時に検出することができ、上記目的が達成される。【効果】試料の複数測定点の光音響信号を並列に同時に検出することが可能となるため、試料の2次元表面及び内部情報の高速検出が可能になるという効果を有する。また、試料表面の反射率分布、凹凸分布、光路のゆらぎを補正した光音響信号の検出が可能となり、高感度かつ安定な検出が可能になるという効果を有する。
請求項（抜粋）：
所望の周波数で強度変調した強度変調光を試料表面の複数の測定点に照射して該複数の測定点の表面または内部において光音響効果あるいは光熱効果を発生させ、該複数の測定点からの反射光と参照光との干渉光を、試料表面と共役の関係にあり、かつ前記各測定点に対応した複数個の光電変換素子の各々で受光して干渉光強度信号として検出し、該検出された各干渉光強度信号から複数の測定点において生じた前記強度変調周波数と同じ周波数成分の熱歪を検出して試料の複数の測定点の表面または内部情報を検出することを特徴とする光音響信号検出方法。
IPC (2件)：
G01N 29/00 501
, G01N 21/00
