特許
J-GLOBAL ID：200903009580352661
大型ペリクル用枠体及び大型ペリクル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中川 周吉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-225150
公開番号（公開出願番号）：特開2001-109135
出願日： 2000年07月26日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、大型ペリクル膜を展張して貼着支持する長辺と短辺とを有する方形状の大型ペリクル用枠体であって、長辺の幅を短辺の幅よりも大きくして長辺の強度を確保して長辺の枠体の内側に向かう撓みを抑制するものである。【解決手段】 大型ペリクル膜2を展張する面積が1000cm2以上であり、且つ枠体1の長辺1aの幅が短辺1bの幅より大きいことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
大型ペリクル膜を展張して貼着支持する長辺と短辺とを有する方形状の大型ペリクル用枠体であって、前記大型ペリクル膜を展張する面積が1000cm2以上であり、且つ枠体の長辺の幅が短辺の幅より大きいことを特徴とする大型ペリクル用枠体。
Fターム (1件)：
引用特許：
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