特許
J-GLOBAL ID：200903009587779458
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-091523
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294353
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 金属台座をボディにレーザ溶接したことにより、圧力検出精度に悪影響を与えないようにする。【構成】 ボディ1 と、ボディ1 にレーザ溶接される金属台座2 と、金属台座2に接合されるガラス台座3 と、ガラス台座3 に接合したシリコンダイヤフラム上に拡散抵抗による歪みゲージを形成してなる圧力センサチップ4 と、を備えた圧力センサにおいて、前記金属台座2 は、前記ガラス台座3 の接合部2aと前記ボディ1 へのレーザ溶接部2bとの間に溝2cが設けられた構成にしてある。従って、金属台座2 をボディ1 にレーザ溶接したとき、レーザ溶接の熱で膨張又は収縮変形することによって、ボディ1 が自己よりも形状の小さい金属台座2 を引っ張っても、そのレーザ溶接部2bは溝2cを広げるよう変形するだけあるので、ガラス台座3 の接合部2aは変形しない。
請求項（抜粋）：
ボディと、ボディにレーザ溶接される金属台座と、金属台座に接合されるガラス台座と、ガラス台座に接合したシリコンダイヤフラム上に拡散抵抗による歪みゲージを形成してなる圧力センサチップと、を備えた圧力センサにおいて、前記金属台座は、前記ガラス台座の接合部と前記ボディへのレーザ溶接部との間に溝が設けられてなることを特徴とする圧力センサ。
引用特許：
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