酸化スズ(IV)膜の成膜方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本孝久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150366
公開番号（公開出願番号）：特開平7-330336
出願日： 1994年06月08日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】バッファ層等を形成する必要や単結晶基板を用いる必要がなく、製造工程を簡素化でき、しかも所望の配向性を有する酸化スズ(IV)膜を容易に且つ確実に広い成膜条件にて成膜することを可能にする酸化スズ(IV)膜の成膜方法を提供する。【構成】酸化スズ(IV)膜の成膜方法は、(C4H9)2Sn(OCOCH3)2を含有するアルコール溶液を加熱された基体上に噴霧して、(200)面配向を有する高配向性の酸化スズ(IV)膜を基体上に成膜する。あるいは又、(C4H9)4Snを含有するアルコール溶液を加熱された基体上に噴霧して、(110)面配向を有する高配向性の酸化スズ(IV)膜を基体上に成膜する。

請求項（抜粋）：

(C4H9)2Sn(OCOCH3)2を含有するアルコール溶液を加熱された基体上に噴霧して、(200)面配向を有する高配向性の酸化スズ(IV)膜を基体上に成膜することを特徴とする酸化スズ(IV)膜の成膜方法。

IPC (2件)：

C01G 19/02 , C23C 18/12

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭61-227946
特開昭59-057914
特開平2-258691

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審査官引用 (7件)

特開昭61-227946
特開昭58-110427
特開昭61-227946

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