特許
J-GLOBAL ID：200903009593210602
物体の摩擦応力を受ける露出面に潤滑層を付着するための方法および露出面に付着した潤滑層を有する物体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 清 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-551061
公開番号（公開出願番号）：特表2002-516924
出願日： 1999年04月24日
公開日（公表日）： 2002年06月11日
要約：
【要約】本発明は、物体の摩擦応力を受ける面に潤滑層を付与するための方法、および対応する物体に関するものであり、前記潤滑層は使用時にホウ酸を含有する。作製のために、物体が反応器に導入され、その反応器は排気される。次いで、付着促進層を形成するために、プロセスガスが導入される。このプロセスガスは、ホウ素、窒素および/または炭素を少なくとも化合物の形態で含有するか、あるいはプロセス条件のもとで対応する元素を放出し、かつ特に拡散によって物体の表面領域に侵入する。ホウ素および酸素を含有する中間層を作製するために、ホウ素を少なくとも化合物の形態で含有し、プロセス条件のもとでそのホウ素を放出する第2の前駆体材料、および酸素を少なくとも化合物の形態で含有し、プロセス条件のもとでその酸素を放出する第1の前駆体材料が、堆積気相に導入される。遅くとも使用時には、中間層のホウ素および酸素は、少なくともそれらが自由に接近し得る表面領域において、水素の助けにより、乾燥潤滑剤としてのホウ酸に少なくとも部分的に変換される。
請求項（抜粋）：
物体の摩擦応力を受ける露出面に少なくとも応力条件のもとでホウ酸(H3BO3)を含有する潤滑層を外面的に付着するための方法であって、次の工程の組合せを特徴とする前記方法、・物体(1)を導入し、前記物体はコーティングされるものであり、反応器内で付着促進層が形成され、その後に付与される潤滑層(5)の乾燥潤滑剤と前記物体(1)の材料との付着性が前記付着促進層(3)によって改善されるものであり、・前記反応器(6)を100mbar未満、好ましくは10mbar未満、特に好ましくは約1mbarの圧力に排気し、および/または少なくとも部分的に不活性ガスで前記反応器(6)を満たし、・少なくとも化合物の形態でホウ素を含有し、プロセス条件のもとで前記ホウ素を放出する第2の前駆体材料を堆積気相に加え、・少なくとも化合物の形態で酸素を含有し、プロセス条件のもとで前記酸素を放出する第1の前駆体材料を堆積気相に加え、・ホウ素および酸素を含有する前記前駆体材料を含む中間層(4)を前記付着促進層(3)上に形成し、および・少なくとも使用時に、ホウ素および酸素を含有する前記中間層(4)内のホウ素および酸素を少なくとも部分的に変換し、少なくとも自由に接近可能なその表面の領域において、水素の助けによって前記潤滑層(5)の乾燥潤滑剤としてホウ酸を形成する。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (34件)：
4K030AA03
, 4K030AA04
, 4K030AA07
, 4K030AA14
, 4K030AA17
, 4K030BA01
, 4K030BA07
, 4K030BA18
, 4K030BA26
, 4K030BA36
, 4K030BA38
, 4K030BA41
, 4K030BA42
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, 4K030JA09
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, 4K030KA39
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, 4K044AB10
, 4K044BA18
, 4K044BA20
, 4K044BB03
, 4K044BC01
, 4K044CA02
, 4K044CA13
, 4K044CA44
