位置決め装置および位置決め装置の制御方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山▲崎▼ 薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-029378
公開番号（公開出願番号）：特開2006-216852
出願日： 2005年02月04日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：

【課題】簡単な構造で動作ユニットの作動開始時間を設定することができる位置決め装置および位置決め装置の制御方法を提供する。【解決手段】所定の案内経路に沿って移動する移動子22の停止時、移動子22上に支持される動作ユニット24に作用する慣性力に基づき動作ユニット24は残留振動に曝される。このとき、センサ32から出力されるセンサ信号の波形が観察される。こうして残留振動は、センサ32から出力されるセンサ信号で検出される。センサ信号の波形に基づき動作ユニット24の位置は正確に特定されることができる。動作ユニット24の作動に適した位置は特定される。こうして動作ユニット24の作動開始時間は設定されることができる。残留振動中でも、動作ユニット24は移動子22の停止から短時間で作動し始めることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

所定の案内経路に沿って移動する移動子と、移動子から延びる支持部材と、支持部材の先端に固定される動作ユニットと、移動子の移動を検出するセンサと、移動子の停止時にセンサから出力されるセンサ信号に基づき動作ユニットの作動開始時間を設定する制御回路とを備えることを特徴とする位置決め装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 , H05K 13/04

FI (2件)：

H01L21/60 311T , H05K13/04 P

Fターム (17件)：

5E313AA01 , 5E313AA11 , 5E313CC04 , 5E313EE01 , 5E313EE02 , 5E313EE03 , 5E313EE22 , 5E313EE33 , 5E313EE35 , 5E313EE38 , 5E313FF11 , 5E313FF24 , 5E313FF32 , 5E313FG10 , 5F044KK01 , 5F044LL00 , 5F044PP17

引用特許：

出願人引用 (4件)

パターン露光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-242803 出願人：株式会社日立製作所
特許第3444265号公報
特開昭63-46502号公報

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