照明光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-286217
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148407
出願日： 1994年11月21日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】高い照明効率を確保しながら通常照明や傾斜照明等の任意の照明に十分に対応し得る高性能な照明光学装置を提供の提供にある。【構成】放電灯からの光を回転対称型集光鏡にて集光し、その集光光をコリメート光学系にてほぼ平行な光に変換して、その平行光をオプティカルインテグレータにて複数に分割して複数の2次光源を形成した後、コンデンサー光学系を介して2次光源からの光を照明する照明光学装置において、その複数の2次光源の光強度分布を所定の光強度分布に整形する2次光源分布整形手段を配置し、上記放電灯における陽極と陰極との2つの電極を所定の関係で配置すると共に、上記コリメート光学系により形成される回転対称型集光鏡の反射面の像の位置に対してオプティカルインテグレータの入射面を所定位置に配置した。

請求項（抜粋）：

光を発する放電灯と、該放電灯からの光を反射集光して光源像を形成する回転対称型集光鏡と、該回転対称型集光鏡により形成された該光源像からの光をコリメートしてほぼ平行な光に変換するコリメート光学系と、該コリメート光学系からの光を複数に分割して複数の2次光源を形成するオプティカルインテグレータと、該オプティカルインテグレータにより形成される複数の2次光源からの光を集光して被照射面を重畳的に照明するコンデンサー光学系とを有する照明光学装置において、前記複数の2次光源の光強度分布を所定の光強度分布に整形する2次光源分布整形手段を配置し、前記放電灯は、前記回転対称型集光鏡の回転軸上に沿って互いに対向して配置された陽極と陰極との2つの電極を有し、前記陰極に対して前記回転対称型集光鏡の頂点側に前記陽極を配置するとともに、前記コリメート光学系により形成される前記回転対称型集光鏡の反射面の像の位置よりも前記放電灯側へディフォーカスした位置に前記オプティカルインテグレータの入射面を配置したことを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 27/09 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 527 , G02B 27/00 E , H01L 21/30 515 D

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