特許
J-GLOBAL ID:200903009599244592

センサ装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-245759
公開番号(公開出願番号):特開2006-064474
出願日: 2004年08月25日
公開日(公表日): 2006年03月09日
要約:
【課題】ユーザの要求に応じて所望とされる特性を可変設定することのできる汎用性の高いセンサ装置を提供する。【解決手段】センサ装置は、ダイアフラム部表面に設けられたひずみ抵抗Rh1〜Rh4を有するセンサチップ2と、該センサチップ2による検出信号を処理する処理回路チップ11と、該処理回路チップ11による処理信号Voutの特性を調整する特性調整チップ121との3つのチップから構成されている。このうち、処理回路チップ11には、上記処理信号Voutの圧力関数、すなわちセンサチップ2に印加される圧力の印加態様に対する同処理信号Voutの変化特性を調整するための端子T11〜T13が設けられている。ここで、特性調整チップ121は、処理信号Voutの圧力関数を調整するための調整信号を2パターン生成し、この2パターンの調整信号を上記処理回路チップ11の端子T11〜T13に各々選択的に出力する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
物理量を検出するセンサ部による検出信号の処理を通じて前記物理量に応じた処理信号を出力する処理回路部に対して前記物理量の変化に対する前記処理信号の変化特性を調整するための調整信号を出力する特性調整部を備え、該特性調整部による調整信号の前記処理回路部に対する出力を通じて前記処理信号に所望の変化特性を設定するセンサ装置において、 前記特性調整部は、前記調整信号として前記物理量の変化に対する前記処理信号の変化特性が各異なるかたちで調整される複数パターンの調整信号を生成する手段を有し、これら生成される複数パターンの調整信号の1つを選択的に出力する ことを特徴とするセンサ装置。
IPC (2件):
G01D 18/00 ,  G01L 9/00
FI (2件):
G01D18/00 ,  G01L9/00 E
Fターム (10件):
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF18 ,  2F055GG36 ,  2F076AA02 ,  2F076AA03 ,  2F076AA07

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