特許

J-GLOBAL ID：200903009605757793

外観検査装置

発明者： 吉田 直
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161623
公開番号（公開出願番号）：特開2001-343330
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】被検査物に後で付着したゴミを本来の欠陥と誤認しないようにする。【解決手段】被検査物Sはベルトコンベア2よって搬送されながらイオンシャワー噴射装置4からのイオンを浴びて静電気が中和され、付着しているゴミ3が吹き飛ばされやすい状態となる。この状態でエアシャワー噴射装置5によってゴミ3が吹き飛ばされる。ゴミ3がない状態で被検査物Sの映像が撮像装置7により撮像され画像処理装置8により欠陥が抽出されるから、被検査物に付着しているだけのゴミをキズやバリなどの欠陥と誤認することがない。

請求項（抜粋）：

被検査物に照明光を照射しながら撮像して得られる画像に処理を施すことにより被検査物の外観の異常を検出する外観検査装置において、被検査物を搬送するコンベアと、このコンベア上の被検査物にイオンシャワーを吹き付けるイオンシャワー噴射装置と、これに続いてエアシャワーを吹き付けるエアシャワー噴射装置と、これに続いて被検査物を撮像する撮像装置を備えたことを特徴とする外観検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/85 ,  B08B 5/02 ,  B08B 7/04

FI (3件)：

G01N 21/85 A ,  B08B 5/02 A ,  B08B 7/04 Z

Fターム (22件)：

2G051AA02 ,  2G051AA04 ,  2G051AB03 ,  2G051AB07 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051DA13 ,  2G051DA17 ,  2G051DA20 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EB01 ,  2G051ED30 ,  3B116AA42 ,  3B116AB14 ,  3B116BB22 ,  3B116BB32 ,  3B116CA00 ,  3B116CC05