特許

J-GLOBAL ID：200903009608690720

基板処理装置

発明者： 大石 護 ,  三村 陽一
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-375134
公開番号（公開出願番号）：特開2005-142244
出願日： 2003年11月05日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】従来技術の問題点であるボートの繰り返し使用に機械的寸法の変異とウェーハの変形による設置ズレを検知する機能を有する移載機を特徴とする基板処理装置を提供することにある。【解決手段】ウェーハ200をウェーハ移載機112によりボート217に保持させ、前記ボート217を処理室に導入し前記ウェーハ200の処理を行う基板処理装置において、前記ウェーハ移載機112に設けられ前記ウェーハ200の有無を非接触で検知する少なくとも一つのウェーハ検知センサ125と、前記ウェーハ検知センサ125が検知した結果と予め保持しておいた基板の設置ズレがないときの結果との比較を行い、ウェーハ200の設置ズレの有無を判断するコントローラ(搬送制御手段124)とを有することにある。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板を移載機により基板保持手段に保持させ、前記基板保持手段を処理室に導入し前記 基板の処理を行う基板処理装置において、 前記移載機に設けられ前記基板の有無を非接触で検知する少なくとも一つの基板検知手 段と、 前記基板検知手段が検知した結果と予め保持しておいた基板の設置ズレがないときの結果 との比較を行い、基板の設置ズレの有無を判断するコントローラと、 を有することを特徴とする基板処理装置。

IPC (1件)：

H01L21/68

FI (1件)：

H01L21/68 F

Fターム (17件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA22 ,  5F031GA36 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA23 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031JA36 ,  5F031NA02 ,  5F031NA07