特許
J-GLOBAL ID：200903009610746619
耐熱性反射防止膜付き光学部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小宮 良雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-001566
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189801
出願日： 1996年01月09日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 250°C以上の高温下でも反射率が増加することがなく、安定した光学特性が得られる耐熱性反射防止膜付き光学部品を提供する。【解決手段】 耐熱性反射防止膜付き光学部品は、250°C以上に加熱される光学部品の少なくとも片面に、TiOX(Xは1.9〜2.2)薄膜2からなる反射防止膜が形成されている。TiOX薄膜2にSiO2薄膜3が積層されている。
請求項（抜粋）：
250°C以上に加熱される光学部品の少なくとも片面に、TiOX(Xは1.9〜2.2)薄膜からなる反射防止膜が形成されていることを特徴とする耐熱性反射防止膜付き光学部品。
IPC (6件)：
G02B 1/11
, C01G 23/04
, C03C 17/245
, C03C 17/34
, C30B 33/00
, G02B 1/10
G02B 1/10 A
, C01G 23/04 C
, C03C 17/245 A
, C03C 17/34 Z
, C30B 33/00
, G02B 1/10 Z
