特許

J-GLOBAL ID：200903009614700915

アルケニルオキシ基を有する反応性化合物

発明者： 穂積 滋郎 ,  北山 慎一郎 ,  中川 弘也
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026570
公開番号（公開出願番号）：特開平6-239789
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年08月30日
要約：

【要約】【目的】速硬化性や硬化物の物性バランスに優れ、酸素によって重合が阻害されることがなく、さらに希アルカリ水への溶解性を有し、ネガティブ型フォトレジストとして有用な反応性化合物を提供すること。【構成】一般式(I)【化1】〔式中、平均繰り返し数nは、0以上20以下の数値をとる。R1 及びR2 は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基またはシクロアルキル基を示す。Qはそれぞれ独立に、-OHまたは一般式-OROCH=CH2(式中、Rは、1ないし12の炭素原子を含むアルキレン基を示す。)で表される基を示す。-OH/-OROCH=CH2 は10/90〜90/10(モル比)である。Aは、炭素数1〜30個の2価の炭化水素基を示す。〕で表されるアルケニルオキシ基を有する反応性化合物、ならびに上記一般式(I)において、2個のQを有する芳香核の一部を1個のQを有する芳香核で置換された構造を有する反応性化合物。

請求項（抜粋）：

一般式(I)【化1】〔式中、平均繰り返し数nは、0以上20以下の数値をとる。R1 及びR2 は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基またはシクロアルキル基を示す。Qはそれぞれ独立に、-OHまたは一般式-OROCH=CH2(式中、Rは、1ないし12の炭素原子を含むアルキレン基を示す。)で表される基を示し、-OH/-OROCH=CH2 は10/90〜90/10(モル比)である。Aは、炭素数1〜30個の2価の炭化水素基を示す。〕で表されるアルケニルオキシ基を有する反応性化合物。

IPC (8件)：

C07C 43/23 ,  C08G 8/30 NBM ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/038 ,  C08F 16/14 MKZ ,  C08F 16/14 MLA ,  C08F 16/32 MKY ,  C08F299/02 MRR