高純度液体の充填方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-234204
公開番号（公開出願番号）：特開平10-077094
出願日： 1996年09月04日
公開日（公表日）： 1998年03月24日
要約：

【要約】【課題】高純度液体運搬用容器に高純度液体を再充填するに際し、カプラーにパイプを脱着する際の該カプラーの磨耗による汚染を効果的に防止した高純度液体の充填方法を提供する。【解決手段】フィーダー15により、運搬用容器1の液給排用ノズルのカプラー2とガス供給ノズルのカプラー3に高純度イソプロピルアルコール給排用パイプ4と高純度窒素供給用パイプ5とをそれぞれ接続し、高純度液体排出用切替バルブ6を閉に、高純度液体供給用切替バルブ7を開にした状態で、高純度液体を供給して洗浄を行い、次いで、高純度液体供給用切替バルブ7を閉にし、高純度液体排出用切替バルブ6を開にし、ガス排出用切替バルブ8を閉、ガス供給用切替バルブ9を開とし、高純度の不活性ガスを供給して洗浄液を排出し、カプラーを接続した状態で、運搬用容器に上記洗浄時と同じ純度の高純度液体を充填する。

請求項（抜粋）：

カプラーを備えたガス供給ノズルと液給排ノズルとを上部に有し、且つ液供排ノズルが容器内部において底部近傍に延長されて開口された密閉容器よりなる高純度液体の運搬用容器に高純度液体を充填するに際し、該運搬用容器の液供排口のカプラーに、給液・排液のための切替手段を有するパイプを接続し、該切替手段を給液状態として高純度液体を供給して洗浄した後、該パイプの切替手段を排液状態とし、且つガス供給用カプラーよりガスを供給して洗浄に使用した高純度液体を該液供排口より上記パイプを経由して排出し、次いで、該パイプを接続した状態で、該パイプの切替手段を給液状態として高純度液体を充填することを特徴とする高純度液体充填方法。

IPC (3件)：

B67C 3/00 , H01L 21/304 341 , H01L 23/16

FI (3件)：

B67C 3/00 Z , H01L 21/304 341 Z , H01L 23/16

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