特許
J-GLOBAL ID：200903009623585649
金属シリコンからのボロン除去方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-079318
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279305
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】太陽電池用シリコンの製造工程の脱ボロン工程において、別途本発明者が開発しているプラズマジェットの脇に酸化性ガスと還元性ガスとを添加してする技術をさらに改善し、ボロンの除去を一層迅速に行う。【解決手段】金属シリコンを酸化性雰囲気中でプラズマ溶解しボロン除去するに当りプラズマ電極として銅中空電極を用い、酸化性ガス及び還元性ガスの混合ガスをプラズマトーチ内でプラズマ作動ガスに混合してプラズマトーチからジェット噴射する。
請求項（抜粋）：
金属シリコンを酸化性雰囲気中でプラズマ溶解しボロン除去するに当り、酸化性ガス及び還元性ガスの混合ガスをプラズマ作動ガスに混合してプラズマトーチからジェット噴射することを特徴とする金属シリコンからのボロン除去方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 33/037
, H01L 31/04 H
