特許
J-GLOBAL ID：200903009632742455
計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-295220
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121558
出願日： 1998年10月16日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】長期に亘って安定性、信頼性の高い計測を行なうことができる計測装置を提供すること。【解決手段】レーザ光を試料8に照射し、前記試料8で発生したプラズマ光を分光器11で受光し分析することで前記試料8の成分に係る計測を行なう計測装置において、放射されたレーザ光を透過するとともに前記プラズマ光を反射する第1の光学部材(5)と、この第1の光学部材(5)で反射されたプラズマ光を前記分光器11へ入射するとともに反射する第2の光学部材(10)と、この第2の光学部材(10)で反射されたプラズマ光を入射し、前記プラズマ光の焦点位置のずれを検出する検出手段(15)と、この検出手段(15)で検出された前記ずれを補正するよう前記第1の光学部材(5)を駆動する駆動手段と、を具備。
請求項（抜粋）：
レーザ光を試料に照射し、前記試料で発生したプラズマ光を分光器で受光し分析することで前記試料の成分に係る計測を行なう計測装置において、放射されたレーザ光を透過するとともに前記プラズマ光を反射する第1の光学部材と、この第1の光学部材で反射されたプラズマ光を前記分光器へ入射するとともに反射する第2の光学部材と、この第2の光学部材で反射されたプラズマ光を入射し、前記プラズマ光の焦点位置のずれを検出する検出手段と、この検出手段で検出された前記ずれを補正するよう前記第1の光学部材を駆動する駆動手段と、を具備したことを特徴とする計測装置。
Fターム (17件)：
2G043AA01
, 2G043CA05
, 2G043CA06
, 2G043EA01
, 2G043EA10
, 2G043FA05
, 2G043GA02
, 2G043GA04
, 2G043GB03
, 2G043GB19
, 2G043HA01
, 2G043HA02
, 2G043HA05
, 2G043HA09
, 2G043KA08
, 2G043KA09
, 2G043LA03
