特許
J-GLOBAL ID：200903009632845220
感光性塗布液の脱気方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-061463
公開番号（公開出願番号）：特開平6-254304
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月13日
要約：
【要約】【目的】 脱気チューブの本数の増加や長さの拡大をすることなく、従来と同じ脱気チューブの面積に於て飛躍的に高い脱気能力を有する脱気方法及びその装置を提供する。【構成】 脱気チューブとしては内径8mm,長さ10mの脱気チューブを4本をフィン付加熱ユニット17に巻付けた。減圧チャンバー17を真空ポンプ9に接続し20Torrの減圧に吸引した。液温度25°C→40°C→60°Cの上昇により脱気度が2倍にも大きくなり、処理能力を著しく高めることが出来る。
請求項（抜粋）：
減圧チャンバー内に収容された高分子脱気チューブの内側に感光性塗布液を流し前記高分子脱気チューブの外側を減圧に吸引することにより前記感光性塗布液中の溶存ガスを脱気する脱気方法において、前記高分子脱気チューブ内の感光性塗布液の温度を上げて脱気することを特徴とする感光性塗布液の脱気方法。
IPC (4件)：
B01D 19/00
, B05C 11/10
, G03C 1/74
, H01L 21/027
