薄膜トランジスタ及び液晶表示装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-046964
公開番号（公開出願番号）：特開平11-251596
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】動作時の発熱や静電気に基づく特性の劣化を防止することの可能な薄膜トランジスタを提供することを目的とする。【解決手段】無アルカリガラス基板21上に導電性物質層19、アンダーコート層20、複数個の薄膜トランジスタを順次形成する。この導電性物質層の存在により、近傍における大きな電位差が生じなくなり、また放熱も行いやすくなる。導電性物質としては、タングステン、タンタル、チタン、クロム、モリブデンの少なくとも一つを用いることができ、容量を考慮すると、導電性物質層が格子状パターンに形成されていることが望ましい。この場合には、格子状パターンの幅をその上に形成される配線パターン等の最小値より小さくすることがより望ましい。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に形成された導電性物質層と、前記導電性物質層が形成された前記絶縁性基板上に形成されたアンダーコート層と、前記アンダーコート層上に形成された複数個の薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに接続された配線とを有する薄膜トランジスタ。

IPC (2件)：

H01L 29/786 , G02F 1/136 500

FI (4件)：

H01L 29/78 623 A , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 623 Z , H01L 29/78 626 C

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