基板端縁洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小谷悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-222730
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064798
出願日： 1996年08月23日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】液残りを抑えることで薄膜の有効領域の破壊や生産性の低下を防止して、角形基板の端縁に形成された不要薄膜を良好に除去する。【解決手段】角形基板1の角部付近の端面に液残りが発生したとしても、吸引口が基板端縁に対向して配設された上下の吸引ノズル26,31で、角形基板1の角部付近の端面に付着した液残りを吸引するので、従来のように角形基板1の主面に形成された薄膜の有効領域を液残りが破壊することはなく、角形基板1の端縁に形成された不要薄膜を良好に除去することができる。

請求項（抜粋）：

基板の端縁に付着した不要な薄膜を除去する基板端縁洗浄装置において、主面に薄膜が形成された角形基板を保持する保持手段と、この保持手段で保持された角形基板の端縁に向けて洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、吸引口が前記角形基板の端縁に対向して配設され、前記角形基板の端縁に付着した不要物を吸引する吸引手段と、前記洗浄液供給手段および吸引手段を前記角形基板の端縁に沿うように、前記洗浄液供給手段および吸引手段と前記角形基板とを相対的に移動させる移動手段とを有することを特徴とする基板端縁洗浄装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , H01L 21/304 341

FI (2件)：

H01L 21/30 577 , H01L 21/304 341 N

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