特許

J-GLOBAL ID：200903009638513997

結像装置

発明者： ヤン エフェルト ファン デル ウエルフ ,  マリナス アート ファン デン ブリンク ,  ヘンク フレデリック ディルク リンダース ,  ヨハネス マルカス マリア ベルトマン
出願人/特許権者： エヌ・ベー・フィリップス・フルーイランペンファブリケン ,  アーエスエム リソグラフィー ベスローデン フェンノートシャップ
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050066
公開番号（公開出願番号）：特開平6-188172
出願日： 1992年03月07日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 従来の装置よりも一層正確且つ信頼性を有し、基板表面の局部的な傾斜を検出し得る焦点検出装置を提供せんとするものである。【構成】 結像装置は結像系(PL)と、結像系の像面および結像を行う第2面(WS)とを具える。焦点誤差検出装置には広い波長帯域を有するビーム(bf)を供給する放射線源(S)と、対物格子(G1 )と、第2面を経て互いに結像する像格子(G2 )とを設ける。焦点検出装置では結像系の外側面(RP)により反射される基準ビーム(br )を前記広帯域ビームおよび格子と組合せてまたは組合せないで用いることができる。多数のかかる焦点検出装置を用いることによって像面に対する第2面(WS)の位置を検出する傾斜検出装置を得ることができる。

請求項（抜粋）：

結像系と、その像面および結像を行うべき第2面間の変位を測定する光電子焦点検出系とを具え、この焦点検出系には、焦点検出ビームを供給する放射線源、前記第2面の前記放射線源と同一側に配列された放射線感応検出器、焦点検出ビームの傾斜方向を変化する面および前記第2面により反射されたビームの傾斜方向を変化する面に対し僅かな角度で第2面に焦点検出ビームを指向するとともに前記反射ビームを前記検出器に指向する光学素子を設けるようにした結像装置において、前記焦点検出ビームが広い波長帯を有するとともに第1および第2格子を設け、第1格子を前記放射線源および前記第2面間の放射線経路に配列し、第2格子を前記第2面および前記検出器間に配列するようにしたことを特徴とする結像装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/28 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/207

FI (2件)：

H01L 21/30 311 N ,  G02B 7/11 M

引用特許：

審査官引用 (9件)

• 特開平2-198130
  
• 特開平2-188907
  
• 特開昭62-231115
  
• 特開昭62-140420
  
• 特開昭62-023115
  
• 特開昭63-058342
  
• 特開昭63-060527
  
• 特開昭63-275912
  
• 特開昭63-271927