特許

J-GLOBAL ID：200903009646759466

表示パネル用基板の検査装置

発明者： 平井 幸廣
出願人/特許権者： 株式会社日本マイクロニクス
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022504
公開番号（公開出願番号）：特開平11-211615
出願日： 1998年01月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【目的】 大きいサイズの基板を検査することができるにもかかわらず、装置の専有面積を小さくし、装置を小型化することにある。【解決手段】 検査装置は、基板を水平面に対し90度又はそれに近い角度を有する状態に受け、その状態で基板と平行の方向に隣り合う受け渡し領域と検査領域とに移動される複数のテーブルと、少なくとも基板と平行の面内で二次元的に移動されるテレビカメラとを備える。これにより、大きいサイズの基板、特に多面取りの基板の検査をすることができるにもかかわらず、装置の専有面積が小さくなり、装置が小型化し、テスター部の待ち時間が短縮する。

請求項（抜粋）：

表示パネル用基板を水平面に対し90度又はそれに近い角度を有する状態に基板受け部に支持して搬送する複数のテーブルと、該テーブルを前記基板と平行の方向に隣り合う受け渡し領域と検査領域とに選択的に移動させるテーブル移動機構と、前記基板を撮影すべく前記検査領域に配置されたテレビカメラと、該テレビカメラを少なくとも前記基板と平行の面内で前記テーブルの移動方向と交差する方向へ移動させるカメラ移動機構とを含む、表示パネル用基板の検査装置。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352

FI (3件)：

G01M 11/00 T ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352