特許

J-GLOBAL ID：200903009648146623

CaF2の光励起エッチング

発明者： モンテ エイ.ダグラス
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-139210
公開番号（公開出願番号）：特開平5-160108
出願日： 1992年05月29日
公開日（公表日）： 1993年06月25日
要約：

【要約】【目的】 CaF2表面(12)の光励起(フォト-スティミュレイテッド)エッチングの方法を提供する。【構成】 CaF2表面(12)を雰囲気種(16)にさらす段階と、CaF2表面(12)および/或いは雰囲気種(16)を光励起によって十分に励起してCaF2表面(12)の雰囲気種(16)との反応によりCaF2/雰囲気種生成物を形成することが可能である段階、および雰囲気種(16)およびCaF2/雰囲気種生成物をCaF2表面(12)から除去する段階とが含まれる。

請求項（抜粋）：

CaF2表面の光励起エッチングの方法であって、前記表面を雰囲気種にさらす段階と、前記表面および/或いは前記雰囲気種を光励起によって十分に励起させて、前記表面の前記雰囲気種との反応によりCaF2/雰囲気種反応生成物の形成を可能にする段階と、前記雰囲気種および前記反応生成物を前記表面から除去する段階とを含む方法。

IPC (2件)：

H01L 21/306 ,  H01L 29/88