特許

J-GLOBAL ID：200903009648474116

搬送制御装置

発明者： 櫻井 信朗
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-060932
公開番号（公開出願番号）：特開2006-245416
出願日： 2005年03月04日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】搬送装置の種類に限定されることなく、他の搬送装置による搬送が可能ならば、その搬送装置で搬送させることで、搬送システム全体を効率よく稼動させる。【解決手段】複数の搬送装置21と複数の分岐装置22とを含む搬送システム20にネットワーク23を介して接続されており、搬送物を搬送する際の搬送経路の選択に関する制御を行うものであり、搬送先指示部12から、搬送物の識別番号(ロットNo.)と搬送物の搬送先(生産装置30)と搬送物を保管する分岐装置22とが評価値計算部14に指示され、この指示に基づき、評価値計算部14が、搬送物位置情報領域11cと搬送待機数情報領域11dと中継経路定義領域11bと分岐装置定義領域11aと装置稼動情報領域11eとに記憶した各情報を用いて、評価値を計算して、この評価値に基づき搬送経路決定部15が搬送経路を決定する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数の搬送装置と、前記搬送装置間を接続する複数の分岐装置とを含む搬送システムに接続されており、搬送物を搬送する経路である搬送経路を選定する際に、この搬送経路を構成する搬送装置および分岐装置の選択に関する制御を行う搬送制御装置であって、 各分岐装置内に含まれる複数の分岐それぞれに付されている分岐番号と、 各分岐の優先度とを含む分岐情報を、分岐装置ごとに記憶する分岐情報記憶手段と、 搬送装置および分岐装置の利用順をマトリックスで定義したテーブルを、搬送経路ごとに記憶する中継経路記憶手段と、 搬送物の現在位置と搬送先とを示す情報を、搬送物ごとに記憶する位置情報記憶手段と、 前記分岐情報記憶手段に記憶された情報と、前記中継経路記憶手段に記憶された情報と、前記位置情報記憶手段に記憶された情報とに基づいて、搬送物が到着した分岐装置から次に使用し得る分岐装置までのすべての搬送経路に関して評価値を計算する評価値計算手段と、 前記評価値計算手段によって計算された評価値に基づき、1つの搬送経路を選定する搬送経路決定手段と、を備えることを特徴とする搬送制御装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/02 Z

Fターム (9件)：

5F031CA02 ,  5F031GA58 ,  5F031GA59 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031PA01 ,  5F031PA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 搬送システムの制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-372026   出願人：株式会社ルネサステクノロジ