特許

J-GLOBAL ID：200903009648611024

球状結晶の製造方法および球状結晶アレイ

発明者： 中田 仗祐
出願人/特許権者： 中田 仗祐
代理人 (1件)： 岡村 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-284499
公開番号（公開出願番号）：特開平7-118099
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：

【要約】【目的】 内部歪みや結晶欠陥のない結晶構造的に格段に優れた球状結晶を形成する方法、及び、複数の球状結晶を少なくとも1列状に形成してなる球状結晶アレイを提供する。【構成】 シリコン単結晶からなる結晶基板40に端面に複数の突起部41を一体的に形成し、それら複数の突起部41の先端面にレーザ光43を走査させて融解させ、結晶に固化させて、突起部41の先端部にシリコン単結晶からなる球状結晶46を一体的に形成する。

請求項（抜粋）：

金属又は金属酸化物又は非金属材料からなる結晶基材に、その表面部から突出するように、金属又は金属酸化物又は非金属材料の結晶からなる細径の突起部を設ける第1工程と、上記突起部の先端に、加熱用ビームを照射し、上記突起部の少なくとも一部を融解させる第2工程と、上記突起部に対する加熱用ビームの照射を止め、上記融解した部分を、表面張力の作用により、ほぼ球状の球状結晶に固化させる第3工程と、を踏んで球状結晶を製造することを特徴とする球状結晶の製造方法。

IPC (4件)：

C30B 29/60 ,  C30B 13/06 ,  H01L 27/146 ,  H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 27/14 A ,  H01L 31/10 Z