電子機器用接触子及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木秀實 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274875
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089930
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】耐用寿命が長く安定してプロービングのできる電子機器用接触子を提供する。【解決手段】 Va族またはVIa族の単金属もしくはこれらの合金よりなる針状体5などの基体の、少なくとも接触部が、気相合成法によってダイヤモンド被覆6され、かつその被覆外表面には金属被覆7が施されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

Va族またはVIa族の単金属もしくはこれらの合金よりなる基体の、少なくとも接触部が、気相合成法によるダイヤモンドによって被覆され、かつ該被覆の外表面には金属被覆が施されてなることを特徴とする電子機器用接触子。

IPC (3件)：

G01R 1/067 , G01R 1/073 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/067 A , G01R 1/073 E , H01L 21/66 B

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