磁気センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：澤木誠一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-138915
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304108
出願日： 1995年05月15日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、熱伝導率の高い基板を用い、磁気抵抗効果素子の自己発熱による温度変化による電気抵抗変化をおさえる磁気センサを得るにある。【構成】基板として熱伝導率の大きいセラミックス基板を用い、このセラミックス基板上に磁気抵抗効果素子を形成した磁気センサ。上記セラミックス基板上にガラス層を成膜し、このガラス層上に磁気抵抗効果素子を形成した磁気センサ。

請求項（抜粋）：

熱伝導率の大きいセラミックス基板と、このセラミックス基板上に形成された磁気抵抗効果素子とより成ることを特徴とする磁気センサ。

IPC (5件)：

G01D 5/245 , G01R 33/09 , H01L 43/08 , H02K 11/00 , G01B 7/00

FI (5件)：

G01D 5/245 R , H01L 43/08 Z , G01B 7/00 J , G01R 33/06 R , H02K 11/00 C

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