特許

J-GLOBAL ID：200903009668096576

蛍光X線分析装置

発明者： 片岡 由行 ,  井上 達也
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-059785
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310955
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：

【要約】【課題】 作業者の負担を少なくして自動的に分析精度の管理のための工程管理分析が行われる蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】 分析試料に近い既知の組成を持つチェック試料3が保管される保管部21、およびこの保管部21のチェック試料3を測定部11の試料投入口15に移動させる移動機構24を有する自動試料交換機20と、分析試料の測定に際して、それまでの所定時間T1内にチェック試料3が分析されたか否かを判別するチェック試料分析判別手段39と、それまでの所定時間T1内にチェック試料が分析されていなかった場合、自動試料交換機20によって該当するチェック試料をX線分析位置に移動させるチェック試料移動制御手段40と、自動試料交換機20の保管部21における各チェック試料の位置を記憶する第1の記憶手段41とを備える。

請求項（抜粋）：

試料にX線を照射し、試料から発生する蛍光X線を検出する測定部を備え、この測定部での検出結果から試料の分析を行う蛍光X線分析装置であって、標準化試料が保管される保管部、およびこの保管部の標準化試料を前記測定部の試料投入口に移動させる移動機構を有する自動試料交換機と、この自動試料交換機の保管部における各標準化試料の位置を記憶する第1の記憶手段と、分析試料に近い既知の組成を持つチェック試料の各成分の分析結果がそれぞれ予め設定した規格値内であるか否かを判別するチェック分析結果判別手段と、前記チェック試料に規格値外の成分がある場合、前記自動試料交換機によってチェック試料をこの規格値外の成分の標準化用として予め指定された標準化試料に交換する標準化試料交換制御手段と、前記交換された標準化試料の蛍光X線強度の測定結果からドリフト補正係数を算出するドリフト補正係数算出手段とを備えた蛍光X線分析装置。

IPC (2件)：

G01N 23/223 ,  G01N 1/00 101

FI (2件)：

G01N 23/223 ,  G01N 1/00 101 C

Fターム (28件)：

2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001EA03 ,  2G001EA20 ,  2G001FA02 ,  2G001FA06 ,  2G001FA08 ,  2G001FA09 ,  2G001FA19 ,  2G001GA01 ,  2G001GA04 ,  2G001JA08 ,  2G001KA01 ,  2G001NA07 ,  2G001NA11 ,  2G001NA15 ,  2G001NA17 ,  2G001PA02 ,  2G001PA07 ,  2G001PA13 ,  2G052AD52 ,  2G052CA04 ,  2G052CA05 ,  2G052GA19 ,  2G052HC11 ,  2G052HC33 ,  2G052HC36