特許

J-GLOBAL ID：200903009669318424

静電アクチュエータ

発明者： 林 秀俊 ,  種田 修
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社 ,  日本電気真空硝子株式会社
代理人 (1件)： 牧野 剛博 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-259274
公開番号（公開出願番号）：特開平6-113563
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 静電アクチュエータにおいて静電力をより効率的に発生させ、同じ印加電圧で駆動力を高める。【構成】 帯状電極104への電圧を切り換えることにより、固定子101上に載置された移動子110を浮上させ、帯状電極104の配列方向に沿って駆動させる静電アクチュエータにおいて、固定子101を板状もしくはフィルム状の絶縁体からなるベース層103と、該ベース層上に配線される帯状電極104と、該帯状電極104の上に形成される帯状誘電体105とで形成し、各々の帯状誘電体105が互いに接触しないようにクリアランスLを確保する。これにより、帯状電極によって発生される電気力線は図2(B)に示されるように発生し、各帯状電極104を短絡的につなぐような電気力線が発生するのを回避でき、全ての電気力線を有効に移動子110にまで到達させることができる。その結果、同じ印加電圧でもより高い静電力を得ることができ、より強力な駆動力を確保することができる。

請求項（抜粋）：

複数の帯状電極を具備する固定子と、該固定子上に載置されるフィルム状の移動子と、前記帯状電極への電圧の切り換えにより前記移動子を浮上させ、該移動子を帯状電極の配列方向に沿って駆動する手段とを具備する静電アクチュエータにおいて、前記固定子は、板状もしくはフィルム状の絶縁体からなるベース層と、該ベース層上に配線される前記帯状電極と、該帯状電極の上に形成される帯状誘電体とを備え、且つ、各々の帯状誘電体が互いに接触しないように配置されていることを特徴とする静電アクチュエータ。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-200284
  
• 特開平2-285978
  
• 特開昭64-069269