特許
J-GLOBAL ID：200903009671702460
歯車の歯面形状の非接触測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-262034
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109444
出願日： 1992年09月30日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 自由曲面形状測定装置を改変して、同装置に取付けた被測定歯車の歯面形状に応じた干渉縞データを直接、コンピュータに取り込んで自動的に測定結果を得ると共に歯車製作工程へのフィードバックを可能にした歯車の形状測定方法を提供することである。【構成】 自由曲面形状測定装置に取付けた被測定歯車(6)が適切な測定位置に自動的に回転設定されるようにし、また測定機構を適正な位置に移動、設定し、高密度のCCDカメラ(8)を利用して直接歯面の干渉縞をコンピュータ(12)に取込み歯面形状の測定データを解析、演算により得る構成にした。
請求項（抜粋）：
非接触自由曲面測定装置の回転支軸に被測定対象歯車を取付けると共に光源から発した可干渉光を参照光と物体光に分離し、その物体光を被測定歯車の目標歯面に照射することにより、参照光と、物体光の反射光とから該目標歯面の干渉縞像を得て、該目標歯面の形状誤差を測定する歯面形状の非接触測定法において、干渉計の一部のピンホール光路を利用して、前記被測定歯車の回転中心に関する測定原点を自動的に設定し、次いで、前記被測定歯車の歯車仕様に基づいて予め入力された測定のパラメータに従って、前記測定原点から測定位置決めを行って、物体光を1つの歯面に照射してその反射光を画素数の極めて多いCCDカメラ受光面に導き、同時に、該CCDカメラ受光面上で、先に分離した参照光と、該物体光の反射光とを直接干渉させて歯面の干渉縞を得るようにし、更に、参照光の途中に挿入されている鏡をピエゾ素子等の駆動手段によって、前記可干渉光の波長の数分割づつ微動させて干渉縞を1ピッチ分移動させることにより、各分割毎の縞の移動をCCDカメラの各ピクセル毎に取り出して該縞の位相を解析し、又、予め被測定歯車の仕様と、測定機上の歯車取付け位置関係と物体光の照射位置からカメラにより撮影を期待される像をコンピュータによりシミュレーションして理論的歯面形状を作成し、該作成した理論的歯面形状と比較、演算することにより各ピクセルにおける前記縞の位相差を算出し、その点の入射角による実効波長から表面形状の高さに換算して歯面全体の形状に対する歯面誤差を求め、該求めた歯面誤差を、歯車の基本形状の上に、地図状の彩色による等高線で誤差表示を行うようにした、測定ステップを具備したことを特徴とした歯車の歯面形状の非接触測定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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