光学用合成石英ガラス

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：浅野豊司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360334
公開番号（公開出願番号）：特開平6-199531
出願日： 1992年12月29日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】長時間エキシマレーザを照射しても、吸収帯の生成のない、安定した光学用合成石英ガラスを提供する。【構成】四塩化珪素を酸素と水素の割合を化学量論的必要量より過剰の水素の酸水素火炎中で加水分解して石英ガラスを合成し、かつ、石英ガラスの合成時にバーナーの反応条件および排ガスの排気条件を調整して得られるOH基が1000ppm以上の石英ガラスを用いた光学用合成石英ガラス。

請求項（抜粋）：

四塩化珪素を酸水素火炎中で加水分解した合成石英ガラスにおいて、酸水素火炎の酸素と水素の比が化学量論的必要量より過剰の水素の存在下で合成し、かつ、OH基を1000ppm以上含有してなる光学用合成石英ガラス。

IPC (3件)：

C03B 19/14 , C03B 20/00 , H01S 3/02

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-021540
特開平4-130031
特開平1-167258

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