感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：廣田浩一 , 流良広 , 松田奈緒子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-270414
公開番号（公開出願番号）：特開2006-084873
出願日： 2004年09月16日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：

【課題】表面のタック性が小さく、ラミネート性等が良好で、保存安定性に優れ、現像後に優れた耐熱性などを発現し、表面硬度と脆性とを両立する感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。【解決手段】無水マレイン酸と、水素結合を形成可能な官能基を側鎖に少なくとも有するビニル単量体と、から少なくとも形成された共重合体の無水物基に対して0.1〜1.2当量の1級アミン化合物を反応させて得られる共重合体と、重合性化合物と、光重合開始剤と、を少なくとも含む感光性組成物、これを用いた感光性フィルム、永久パターン及びその形成方法である。前記水素結合を形成可能な官能基が、ウレタン基、ウレア基、アミド基、スルホンアミド基、イミド基、チオウレタン基、チオウレア基等である態様などが好ましい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)(a)無水マレイン酸と、(b)水素結合を形成可能な官能基を側鎖に少なくとも有するビニル単量体と、から少なくとも形成された共重合体の無水物基に対して0.1〜1.2当量の1級アミン化合物を反応させて得られる共重合体と、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/033 , C08F 8/32 , G03F 7/004

FI (3件)：

G03F7/033 , C08F8/32 , G03F7/004 512

Fターム (36件)：

2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA11 , 2H025AA13 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025CA00 , 2H025CB10 , 2H025CB14 , 2H025CB16 , 2H025CB41 , 2H025CB60 , 2H025FA17 , 4J100AB02Q , 4J100AB03Q , 4J100AB04Q , 4J100AK32P , 4J100AL08R , 4J100BA04H , 4J100BA04R , 4J100BA37R , 4J100BA38R , 4J100BB01H , 4J100BB07H , 4J100BC04H , 4J100BC43H , 4J100BC43R , 4J100HA61 , 4J100JA37

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭61-243869号公報
特開平02-097502号公報

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