特許

J-GLOBAL ID：200903009686519620

真空成膜用基板キャリア

発明者： 石塚 仁司 ,  大和 正幸 ,  鳫林 秀樹
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社 ,  大日本インキ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298583
公開番号（公開出願番号）：特開平6-145980
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】 インライン式成膜装置において仕込並びに取り出しの際の基板へのダストの付着を低減できるキャリアを提供する。【構成】 縦型に配置された基板キャリアにおいて、基板保持マスクの前面とキャリア防着板の表面が同一面となるように構成する。【効果】 仕込・取り出しにともなう真空排気・ベントの段階でのキャリア表面での気流の乱れを抑えることにより、キャリア防着板からの膜の剥離を防ぎ、ダストの付着の少ない製品を安定して製造できる。

請求項（抜粋）：

基板保持用マスクとホルダー部により基板を保持する基板キャリアにおいて、基板保持マスクの前面とキャリア防着板の表面が同一面にあることを特徴とする基板キャリア。