特許
J-GLOBAL ID:200903009690708801
ビーム検出器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-288041
公開番号(公開出願番号):特開2006-108675
出願日: 2005年09月30日
公開日(公表日): 2006年04月20日
要約:
【課題】所要面積が小さく、また簡単且つ廉価に製造することができる、可視スペクトル領域にあるビームを検出するための効率的で小型のビーム検出器を提供する。【解決手段】第1の検出素子において形成される信号が第2の検出素子において形成される信号とは別個に取り出され、第1の検出素子は可視ビームに対して部分的に透過性であり、第1の検出素子を通過した可視ビームは第2の検出素子において信号を形成する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ビームを受け取って信号を形成するアクティブ領域(14,24,34)をそれぞれ1つ有する複数の検出素子(1,2,3)を備えたビーム検出器であって、
-前記検出素子(1,2,3)はモノリシックにビーム検出器の半導体ボディ(5)に集積されており、
-前記半導体ボディ(5)はビーム入射側(6)を有する、ビーム検出器において、
-第1の検出素子(1)において形成される信号が第2の検出素子(2)において形成される信号とは別個に取り出され、
-前記第1の検出素子(1)は可視ビームに対して部分的に透過性であり、
-前記第1の検出素子(1)を通過した可視ビームは前記第2の検出素子(2)において信号を形成することを特徴とする、ビーム検出器。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
5F049MA03
, 5F049MA04
, 5F049MB07
, 5F049NA18
, 5F049NA19
, 5F049QA07
, 5F049SS04
, 5F049SZ06
, 5F049WA03
, 5F049WA09
引用特許:
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