特許
J-GLOBAL ID：200903009692682370
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-167486
公開番号（公開出願番号）：特開平11-011631
出願日： 1997年06月24日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】 基板搬送の安定性を確保すると共に、基板サイズ変更時の作業性を改善することができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】 搬送ローラ10が基板Sを裏面から支持する一方、基板傾斜方向IDにおける両端縁側(基板の幅方向端縁)を下方および上方端縁支持ローラ22、32が基板表面および基板側面を支持する。このように、基板Sを上方、下方および側面から支持した状態で搬送することができ、基板搬送の安定性を向上させることができる。また、基板サイズを変更する際にも、搬送ローラ10を交換することなく、上方および下方端縁支持ローラ32、22のうち少なくとも一方を再配置することで相互に異なる基板サイズの基板Sを搬送することができる。
請求項（抜粋）：
基板を水平方向に対して傾斜させた状態で、所定の基板搬送方向に搬送する基板搬送装置において、基板を裏面から支持して搬送可能な搬送ローラと、前記基板搬送方向に沿って相互に離隔配置されながら、各々が基板の傾斜方向における下方端縁側で、しかも当該基板傾斜方向に対して鋭角をなすように立設された複数の下方端縁支持軸と、各下方端縁支持軸の先端部に回転自在に取り付けられ、前記基板傾斜方向における下方端縁側で基板表面および基板側面を支持する複数の下方端縁支持ローラと、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
B65G 21/20
, B65G 49/06
, H01L 21/304 341
, H01L 21/68
B65G 21/20 C
, B65G 49/06 Z
, H01L 21/304 341 C
, H01L 21/68 A
