特許

J-GLOBAL ID：200903009693175324

微粒子測定方法およびその装置

発明者： 清水 勲
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 長瀬 成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-077516
公開番号（公開出願番号）：特開2001-264232
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：

【要約】【課題】大容量の流体(媒質)中に混在するサイズが数ミクロン(μm)からサブミクロン(μm)あるいは数ナノメートル(nm)の微量の微粒子の検出に好適な微粒子測定方法およびその装置を提供する。【解決手段】 可干渉多波長光が混合されたレーザ光束を、平行走査して広いレーザ光照射領域と二つの凸レンズで広い測定視野をつくり、そのレーザ光照射領域内に被検査流体を流し、その流体の広い測定視野中の粒子の光散乱や光回折パターンから粒子の複数の形状や寸法の識別を、光熱偏向分光から組成ごとの粒子サイズと存在位置の計測を同時に行うことを特徴とする微粒子測定方法。

請求項（抜粋）：

レーザ光束を、平行走査して広いレーザ光照射領域をつくり、そのレーザ光照射領域内に被検査流体を流し、その流体の測定視野中の粒子の光散乱や光回折パターンから粒子の複数の形状や寸法の識別を測定する微粒子測定方法。

IPC (5件)：

G01N 15/02 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/24 ,  G01N 25/16

FI (5件)：

G01N 15/02 A ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/02 G ,  G01N 25/16 C ,  G01B 11/24 D

Fターム (38件)：

2F065AA04 ,  2F065AA23 ,  2F065AA53 ,  2F065BB21 ,  2F065BB29 ,  2F065CC00 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL20 ,  2F065LL21 ,  2F065LL51 ,  2F065LL62 ,  2F065MM15 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ41 ,  2F065UU07 ,  2G040AB07 ,  2G040AB12 ,  2G040BA29 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040CB02 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040GA05 ,  2G040GA07 ,  2G040HA16 ,  2G040ZA05